汞燈標準光譜是怎么樣的?

? DOHO標準光源箱 ????|???? ?2019-05-22

什么是汞燈標準光譜?汞燈光譜波長范圍是多少?下文就為大家簡單那的介紹一下汞燈的光譜線波長情況,對汞燈光譜感興趣的小伙伴,趕快來看看吧!

DOHO對色燈箱

汞燈標準光譜是什么?

利用汞放電時產(chǎn)生汞蒸氣獲得可見光的電光源。汞燈可分為低壓汞燈、高壓汞燈和超高壓汞燈三種。

汞燈標準光譜橫坐標是波長,縱坐標是光幅(強度)。

關(guān)于X光,汞燈光譜中包含有X光,但強度已經(jīng)很小了,達不到應用水平。其實可以看到,KrF,ArF的強度也不大,所以在早期i線的光刻機上用的是汞燈,而DUV的光刻機用的是準分子激光。實驗室中的汞燈一般為線光譜。

汞燈光譜

汞燈光譜波長范圍:

藍光為:

△491.60 強?

△496.03 中

汞燈主要光譜線波長表

顏色 波長/nm 強度?

紫色 △404.66 強?

△407.78 中?

410.81 弱?

433.92 弱?

434.75 中?

△435.84 強?

藍綠色 △491.60 強?

△496.03 中?

綠色 535.41 弱?

536.51 弱?

△546.07 強?

567.59 弱?

黃色 △576.96 強?

△579.07 強?

585.92 弱?

589.02 弱?

橙色 △607.26 弱?

△612.33 弱?

紅色 △623.44 中?

深紅色 △671.62 中?

△690.72 中?

708.19 弱

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